降低洁净室净化空调系统噪声的有效措施
来源:www.fjdcjh.com 发布时间:2021/11/3 15:05:35
关于降低洁净室净化空调系统噪声的有效措施是什么?和小编一起来具体了解下!
对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施,洁净室噪声可以大幅度地降低。排风系统噪声对洁净室影响大。以集成电路生产为例,在生产过程中,外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来,对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视,注意选用低噪声风机等。(净化工程)
控制设备噪声首先应从声源上着手,设计时应选用低噪声设备。在某些情况下,由于技术或经济的原因而难于做到时,则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如,把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备,亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间,或技术夹道或服务区内,洁净室噪声有明显的降低。
洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。
对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施,洁净室噪声可以大幅度地降低。排风系统噪声对洁净室影响大。以集成电路生产为例,在生产过程中,外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需要设排风系统。近年来,对于洁净厂房排风系统噪声治理日益受到重视,注意选用低噪声风机等。(净化工程)
洁净室的密封性能比较好,噪声不易衰减,由于洁净室内的工作环境要求比较安静,按规定减少风管风速,既减少了净化空调系统的阻力,降低了风机压头和转速,减弱了风机噪声,又防止了风速过大而产生的附加噪声。
控制设备噪声首先应从声源上着手,设计时应选用低噪声设备。在某些情况下,由于技术或经济的原因而难于做到时,则应从噪声传播途径上来采取降噪措施。例如,把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。必须置于洁净室内的高噪声设备,亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内有些洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间,或技术夹道或服务区内,洁净室噪声有明显的降低。
洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的合理布置及合理的降噪措施。
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